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净化工程2020年的发展趋势(二)
来源:www.hndqjh.cn 发布时间:2020/5/14 17:31:46
节能化成为洁净工程重要目标

洁净厂房是我国的耗能大户之一,据不完全统计,洁净室的能耗是一般写字楼的10~30倍。我国的8英寸芯片厂,洁净室单位面积能耗比美国同型工厂高百分之15。美国耗能1.28 kW/m2~1.63 kW/m2,而中国耗能1.48 kW/m2~1.93 kW/m2(资料来源:中国电子学会洁净分会)。以上海某知名芯片厂为例,其全年耗电量百分之51是用于洁净工程运行及相关的维护,如果将百分之51的能耗合理降低,对企业来说就意味着利润的增长。因此,洁净室下游相关行业企业越来越重视洁净室的节能问题。这就要求洁净工程行业的设计和施工企业,从客户需求出发,从设计理念、建造施工、设备配备及运行等各个方面进行节能设计,只有采取全 方 位 的节能技术,整个洁净工程行业才能持续、良性发展。
高 端 洁净技术方向发展

空气分子污染(Airborne Molecular Contaminants,AMC)作为IC工厂所关心的问题于20年前先由日本人提出,近年来,世界IC技术发展迅速,IC芯片日益微型化。AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多,粒子污染控制只需要确定粒径及个数,但对AMC控制而言,除了受芯片线宽的缩小而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子残余对下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生产过程中的某些加工工序及工序间的材料传送和存放环境中,AMC已成为严重影响成品率的重要问题,AMC分子控制技术成为洁净工程设计与施工建设的主流趋势。目前,国内的洁净工程企业中已经开始从事此方向的研究,在该领域比较领 先的企业有亚翔集成,在分子净化技术方面该公司已经走在了同行业的前 列,而中国电子工程设计院则在防微震方面技术领 先。

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